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2024年12月16日
Interface編集部
パワー半導体向け3kVの高電圧対応ウエハー・テスト・システム
キーサイト・テクノロジーは，3kVまでの高電圧と低電圧のパラメトリック・テストをワンパス試験で可能にしたウエハー・テスト・システムを発表した．パワーデバイスメーカーが製造工程でプロセス・コントロール・モニタリング（PCM）とウエハー受け入れ試験（WAT）を実施できるようにすることで，デバイスをより正確かつ効率的にテストし，市場投入までの時間を短縮することが可能．最大3kVの要件をサポートする高電圧スイッチング・マトリックス（HV-SWM）は，測定ピンを29ピンまで拡張可能でき，どの測定ピンも，サブpA分解能の低電流から，最大電圧3kVまで，それぞれ設定できる．さらに，高電圧キャパシタンス測定や各種パラメトリック・テストにも対応．
■キーサイト・テクノロジー(株)
