Interface編集部
インフィニオン テクノロジーズ ジャパン，センサ製品に関するワークショップを開催
2023年11月30日，インフィニオン テクノロジーズ ジャパンはプレス向けにセンサ製品XENSIV（センシブ）シリーズに関するワークショップを開催した．
● MEMS技術を採用したセンサ製品群
XENSIVシリーズは同社が得意とするMEMS技術を採用したセンサ製品．センサが対象とする分野のうち，長期的に高成長が見込めるエネルギー，モビリティ，IoTの3分野の製品開発に注力していくとのことだ．多種多様な需要に応えて，さまざまな製品をラインナップしている．
XENSIVセンサ製品（1）
XENSIVセンサ製品（2）
展示では，民生向け60GHzレーダ，MEMSマイクロフォン，3D ToFセンサ，CO2センサ，3D磁気センサ，超音波式MEMSタッチ・センサの6製品のデモを行っていた．
● 超音波式MEMSタッチ・センサ
CMUT技術を用いた超音波式MEMSタッチ・センサ．タッチ部分が金属，木材，プラスチックになっている
超音波式MEMSタッチ・センサはCMUT（Capacitive Micromachine Ultrasound Transducer；キャパシティブ・マイクロマシン超音波トランスデューサ）技術を用いたタッチ・センサ．接触部の裏面から超音波を送信し，接触部および接触部を通過した場所にある指で反射した超音波を受信してタッチを検出する．従来のキャパシティブ方式と比較して，接触部にさまざまな材質（金属，木材，プラスチック）が使えること，EMCの放射が少ないことなどを利点として挙げていた．同センサは現在，開発検討段階の製品である．
タッチを検出している様子
● 赤外光とマイクを使ったCO2センサ
PAS CO2センサ搭載モジュール
PAS CO2センサはPAS（Photoacoustic Spectroscopy principle for real CO2 detection；光音響分光法）方式のCO2センサ．CO2分子に赤外光を照射し，照射を高速にON/OFFするとCO2分子が膨張/縮小する．この際，微細な音が発生し，CO2の濃度によって音が変化するため，これをMEMSマイクで受信してCO2の濃度を測定する．このMEMSマイクも同社製品であるという．
PAS CO2センサの動作原理
会場のCO2濃度
従来のNDIR（Non Dispersive InfraRed；非分散型赤外）方式のCO2センサは，CO2による赤外光の減衰を利用していた．減衰の測定にはある程度の距離が必要なため，センサの小型化が難しかった．PAS方式はこの距離が不要なため，NDIR方式と比較してサイズが1/4になったとのことだ．
その他，インフィニオン独自技術を適用した60GHzレーダーなども展示されていた．
インフィニオン独自技術を適用した60GHzレーダー
